[发明专利]一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法

摘要

本发明涉及半导体刻蚀机内衬及石英表面防蚀处理技术领域，具体涉及一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：步骤（1），选择碳化硼粉末，并将碳化硼粉末送入等离子喷涂设备；步骤（2），对待喷涂的石英基材的表面进行Ti离子注入处理，然后使用丙酮和无水乙醇对石英基材的表面进行清洗；步骤（3），通过等离子喷涂设备在石英基材的表面进行等离子喷涂，制备出碳化硼涂层。本发明在石英基材表面进行Ti离子注入处理，增大了石英基材表面的粗糙度，从而可以提高碳化硼涂层与石英基材之间的界面结合强度。

主权项

1.一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤(1)，选择碳化硼粉末，并将所述碳化硼粉末送入等离子喷涂设备；步骤(2)，对待喷涂的石英基材的表面进行Ti离子注入处理，然后使用丙酮和无水乙醇对所述石英基材的表面进行清洗；步骤(3)，通过所述等离子喷涂设备在所述石英基材的表面进行等离子喷涂，制备出碳化硼涂层；其中，所述步骤(1)中的碳化硼粉末的粒度范围为5～50μm；其中，所述步骤(2)中Ti离子注入的剂量为1～9×1016ion/cm2；其中，所述步骤(3)中所述等离子喷涂设备使用的离子气体为Ar和H2，Ar气体的流量为40～90L/min，H2气体的流量为5～20L/min；其中，所述步骤(3)中等离子喷涂设备的电弧电压为40～90V，电弧电流为600～900A，送粉速度为15～100g/min，喷涂距离为60～140mm，粉斗搅拌速度5～40r/min，送粉角度为50°～90°，机械手移动速度为3～1000mm/s；其中，所述步骤(3)中等离子喷涂的过程中，采用压缩空气喷吹方法或者循环水冷方法来冷却所述石英基材，所述压缩空气喷吹方法中冷却气体的流量为100～2000L/min，所述循环水冷方法中冷却水的流量为10～500L/min。