[发明专利]一种共轭磁介质电涡流传感器

摘要

本发明公开了一种共轭磁介质电涡流传感器，用于单晶、多晶太阳能硅片的非接触测试，获得硅片的电导从而根据硅片厚度计算出体电阻率。包括：壳体；检测部，所述检测部包括E型铁芯、采样线圈、激励线圈，所述采样线圈和所述激励线圈为同轴线圈，所述采样线圈和所述激励线圈的绕线分别绕卷在所述E型铁芯的两个槽中；线圈引线，用于分别将所述采样线圈和所述激励线圈的绕线端部从检测部引出，所述线圈引线引出端由绝缘体灌封固定。本共轭磁介质电涡流传感器的适应环境温度、湿度范围较宽，结构刚度好、也适合在线型检测场合的安装应用、工作稳定、重复性好、使用寿命长、造价低具有较高性能价格比等优点。

主权项

一种共轭磁介质电涡流传感器，用于单晶、多晶太阳能硅片的非接触测试，其特征在于，包括：壳体；检测部，包括E型铁芯、采样线圈、激励线圈，所述采样线圈和所述激励线圈为同轴线圈，所述采样线圈和所述激励线圈的绕线分别绕卷在所述E型铁芯的两个开槽中；线圈引线，用于分别将所述采样线圈和所述激励线圈的绕线端部引出，所述线圈引线引出端由绝缘体灌封固定。