[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积装置

摘要

本发明公开一种微波等离子体化学气相沉积装置。包括由反应腔上盖和反应台组成的反应腔，反应腔下方设置有相连接的矩形波导和同轴波导；同轴波导的中心轴伸入在反应腔内，中心轴的上方同轴固定连接有用于放置衬底的样品台；反应腔上盖的中心开有气体导入口，反应腔上盖的颈部还设置均匀开有进气小孔的水平隔板，水平隔板和反应腔上盖的上端面之间形成气体缓冲混合腔，反应台上相对于样品台的边缘外侧均匀呈圆周分布开有一圈排气通孔。本发明与现有技术相比，更能实现均匀的、高效率的、高质量的沉积薄膜。

主权项

一种微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括由反应腔上盖（4）和反应台（9）组成的反应腔，所述反应腔下方设置有相连接的矩形波导（1）和同轴波导（2）；所述同轴波导（2）的中心轴（10）伸入在所述反应腔内，所述中心轴（10）的上方同轴固定连接有用于放置衬底（13）的样品台（11）；所述反应腔上盖（4）的中心开有气体导入口（5），所述反应腔上盖（4）的颈部还设置均匀开有进气小孔（7）的水平隔板（6），所述水平隔板（6）和反应腔上盖（4）的上端面之间形成气体缓冲混合腔，所述反应台（9）上相对于样品台（11）的边缘外侧均匀呈圆周分布开有一圈排气通孔（8）。