[发明专利]微流控相变汽泡微泵阀及其方法有效
申请号: | 201310699647.3 | 申请日: | 2013-12-18 |
公开(公告)号: | CN103706413A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 徐法尧;吴慧英;康宁 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 郭国中 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种微流控相变汽泡微泵阀,包括微通道结构、储液微穴、加热装置、底层芯片、绝缘层以及顶层芯片;所述微通道结构和所述储液微穴设置在顶层芯片上;所述储液微穴连接在所述微通道结构的两侧;所述储液微穴用于充装相变液体;所述加热装置设置在所述底层芯片上,所述加热装置用于对储液微穴内充装的相变液体进行加热;所述绝缘层设置在所述底层芯片和顶层芯片之间。本发明还提供相应的使用方法和相变液体的充注方法。本发明具有微泵和微阀双重功能,通过调节加热装置供给加热功率实现微泵和微阀功能转变,可缩减微流控加工工艺;作为微泵使用时,可实现微通道内流体间歇性输运;作为微阀使用时,可实现微通道内流体流量精确调节。 | ||
搜索关键词: | 微流控 相变 汽泡 微泵阀 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种微流控相变汽泡微泵阀,其特征在于,包括微通道结构、储液微穴、加热装置、底层芯片、绝缘层以及顶层芯片;所述微通道结构和所述储液微穴设置在顶层芯片上;所述储液微穴连接在所述微通道结构的两侧;所述储液微穴用于充装相变液体;所述加热装置设置在所述底层芯片上,所述加热装置用于对储液微穴内充装的相变液体进行加热;所述绝缘层设置在所述底层芯片和顶层芯片之间。
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