[发明专利]一种高纯NiPt合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201310701500.3 | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN104726829A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 朱晓光;罗俊峰;刘红宾;李勇军;何金江;尚再艳;于海洋;缪卫东 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/10;C22F1/14 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了属于靶材制备技术领域的一种高纯NiPt合金靶材及其制备方法，其特征在于通过热锻进行开坯，采用冷轧结合再结晶热处理控制合金微观组织。具体工艺流程为：热锻、冷轧、真空热处理、精加工等。通过上述方法得到的高纯NiPt合金靶材晶粒细小、均匀，靶材溅射面晶粒取向呈随机分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 nipt 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高纯NiPt合金靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：（1）热锻：将NiPt合金铸锭进行热锻开坯，破碎组织细化晶粒，得到冷轧前所需形状的坯料；（2）冷轧：将热锻的NiPt坯料进行冷轧，以减薄坯料；（3）真空热处理：将轧制后的坯料进行真空热处理，消除加工硬化状态，使坯料的微观组织充分再结晶，热处理过程为真空状态，减少材料损耗；（4）成品精加工：将坯料加工成所需规格，最终得到NiPt成品靶材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研亿金新材料股份有限公司;，未经有研亿金新材料股份有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310701500.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：真空磁控溅射金属膜层厚度控制方法
- 下一篇：蒸镀装置
- 同类专利
- 专利分类
