[发明专利]一种石英晶片或晶组灵敏度标定装置

摘要

本发明一种石英晶片或晶组灵敏度标定装置属于传感器及测控研究领域，应用于单晶片、单石英晶组或多石英晶组在X、Y、Z三个方向上的灵敏度标定。标定装置由基础支架、操作平台、立杆和横杆、加载头、拉压应变式传感器以及若干个内六角螺钉和六角螺母组成。该装置在X、Y、Z三个方向上分别采用带有拉压应变片传感器的加载头，实现三个方向力的加载，每个加载头内部结构都一样，每个加载头上的拉压应变片传感器与电压显示器连接。该标定装置结构简单，尺寸小巧，稳定性好，操作简单、使用方便，成本较低，可实现对压电传感器中的石英晶片或晶组灵敏度的可靠标定。

主权项

一种石英晶片或晶组灵敏度标定装置，其特征在于，标定装置由基础支架、操作平台、立杆和横杆、加载头、拉压应变式传感器以及若干个内六角螺钉和六角螺母组成；该装置在X、Y、Z三个方向上分别采用带有拉压应变片传感器的加载头，实现三个方向力的加载，每个加载头内部结构都一样，每个加载头上的拉压应变片传感器与电压显示器连接；即拉压应变式传感器（12）连接在加载头（10）的一端来检测X方向所施加载荷的大小，拉压应变式传感器（13）连接在加载头（9）的一端来检测Y方向所施加载荷的大小，拉压应变式传感器（14）连接在加载头（8）的一端来检测Z方向所施加载荷的大小；操作平台（6）水平置于基础支架（7）上，并且使用多个内六角螺钉（16）与基础支架（7）固定在一起，操作平台（6）上加工了螺纹孔阵列；标定装置共有三对立杆和一对横杆，分别为一对右侧Z向立杆（3）、一对左侧Z向立杆（4）、一对后方Z向立杆（5）和一对上端Y向横杆（1），立杆和横杆上都打有多对螺纹孔；一对右侧Z向立杆（3）和一对左侧Z向立杆（4）使用8个六角螺母（2）将一对上端Y向横杆（1）和基础支架（7）连接固定在一起，一对后方Z向立杆（5）使用两个六角螺母（2）与基础支架（7）连接固定在一起；X向加载头（10）通过两枚内六角螺钉（17）固定在一对立杆（5）上；X向加载头（10）具体装配方式为：加载头外套（19）一端的左右两侧分别开有条形孔（a）和条形孔（b），并由一对内六角螺钉（17）直接与一对立杆（5）连接固定，另一端通过内六角螺钉（25）与端盖（22）连接封装，加载轴（20）安装在加载头外套（19）内，轴上端开有键槽，限位内六角螺钉（18）穿过加载头外套（19）伸入键槽，限制加载轴（20）的位移方向；加载轴（20）一端通过螺纹副与拉压应变式传感器（12）连接，另一端与加载螺杆（24）通过螺纹副连接，手柄（15）安装在加载螺杆（24）的另一端，止推轴承（21）安装在加载螺杆（24）的轴肩位置处，由端盖（22）压紧，弹簧卡圈（23）卡住加载螺杆；Y向加载头（9）通过内六角螺钉（17）固定在一对立杆（4）上；Z向加载头（8）通过内六角螺钉（11）固定在一对横杆（1）上。