[发明专利]一种基板缓存装置有效
申请号: | 201310706123.2 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN103693433A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 范立革 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | B65G47/69 | 分类号: | B65G47/69;B65G49/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种基板缓存装置,包括安装支架,还包括:多个用于存放基板的支撑结构,相互平行、间隔地由上至下设置于所述安装支架上,且相对于所述安装支架活动设置;驱动结构,用于当机械手欲在其中的第一支撑结构上方进行取放基板操作时,推动所述第一支撑结构以上的所述支撑结构向上滑动,所述第一支撑结构的上方留出机械手进行取放操作的转换空间。该基板缓存装置在保证不增加占用空间的条件下,解决现有技术基板存放空间较小,不利于机械手进行取放转换动作的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 缓存 装置 | ||
【主权项】:
一种基板缓存装置,包括安装支架,其特征在于,还包括:多个用于存放基板的支撑结构,相互平行、间隔地由上至下设置于所述安装支架上,且相对于所述安装支架活动设置;驱动结构,用于当机械手欲在其中的第一支撑结构上方进行取放基板操作时,推动所述第一支撑结构以上的所述支撑结构向上滑动,所述第一支撑结构的上方留出机械手进行取放操作的转换空间。
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