[发明专利]光学位置测量装置

摘要

本发明涉及用于检测在多个空间自由度中的对象的位置的光学位置测量装置。对象至少沿第一移动方向以及沿第二移动方向可移动地设置。位置测量装置包含有至少一个光源、至少一个设置在对象上的第一和第二计量用具，这些计量用具沿着第一和第二延伸方向延伸并包含有沿着第一和第二延伸方向周期设置的分区。另外还设置有扫描板，在该扫描板中至少集成有第一和第二后向反射器元件，其中第一后向反射器平行于第一延伸方向延伸，并且第二后向反射器元件平行于第二延伸方向延伸，并把从第一和第二计量用具入射到其上的分射束反射返回到相应计量用具的方向上。借助探测器装置可以从叠加的分射束中至少生成与对象沿第一和第二移动方向的移动相关的位置信号。

主权项

光学位置测量装置，用于检测在多个自由度中的对象（10；100；1000；1000`）的位置，其中该对象（10；100；1000；1000`）至少沿第一移动方向（x）以及沿第二移动方向（z）可移动地设置，该光学位置测量装置具有‑至少一个光源（24；150），‑至少一个设置在该对象（10；100；1000；1000`）上的第一计量用具（12；112.1，112.2；1112.1，1112.2），该第一计量用具沿着第一延伸方向（e1）延伸并包含有沿着该第一延伸方向（e1）周期设置的分区（12.1，12.2），‑至少一个设置在该对象（10；100；1000；1000`）上的第二计量用具（13；113；1113），该第二计量用具沿着第二延伸方向（e2）延伸并包含有沿着该第二延伸方向（e2）周期设置的分区（13.1，13.2），‑扫描板（20；120；1120；1120`），在该扫描板中至少集成有第一和第二后向反射器元件（21；121；1121；1121`；22；122；1122；1122`），其中该第一后向反射器元件（21；121；1121；1121`）平行于该第一延伸方向（e1）延伸，并且该第二后向反射器元件（22；122；1122；1122`）平行于该第二延伸方向（e2）延伸，并将从第一和第二计量用具（12；112.1，112.2；1112.1，1112.2；13；113；1113）入射到第一和第二后向反射器元件上的分射束反射返回到相应计量用具（12；112.1，112.2；1112.1，1112.2；13；113；1113）的方向上，‑探测器装置（160），通过该探测器装置能够从叠加的分射束中至少生成与该对象（10；100；1000；1000`）沿第一和第二移动方向（x,z）的移动相关的位置信号。