[发明专利]一种薄膜晶体管、其制作方法、阵列基板及显示装置有效

专利信息
申请号: 201310710175.7 申请日: 2013-12-19
公开(公告)号: CN103700708A 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 周庆高;赵卓寒;刘祖宏;吴代吾;侯智 申请(专利权)人: 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L27/12;H01L21/77;G09F9/33
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 230012 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种薄膜晶体管、其制作方法、阵列基板及显示装置,将薄膜晶体管的栅极、栅绝缘部件、有源部件和源漏极沿平行于衬底基板的水平方向设置在衬底基板上,而现有的薄膜晶体管是在衬底基板上依次层叠设置栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极,本发明实施例提供的薄膜晶体管相当于将现有的薄膜晶体管以其在衬底基板上占用的区域中较短的边为中心轴旋转90°,这样,使薄膜晶体管在衬底基板上占用区域的横向宽度的数量级由10-6m减小至10-10m,由此减小了薄膜晶体管在衬底基板上所占用的非透光面积,从而增大了可透光面积,这样,在显示器件的开口率一定时提高显示器件的分辨率,在显示器件的分辨率一定时增大显示器件的开口率。
搜索关键词: 一种 薄膜晶体管 制作方法 阵列 显示装置
【主权项】:
一种薄膜晶体管,其特征在于,包括:衬底基板,位于所述衬底基板上且沿平行于所述衬底基板的水平方向设置的栅极、栅绝缘部件、有源部件和源漏极;其中,所述栅极和所述有源部件相对而置,分别位于所述栅绝缘部件的两侧;所述源漏极位于所述有源部件背离所述栅绝缘部件的一侧,包括相互绝缘的源极和漏极,所述源极和所述漏极均与所述有源部件连接。
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