[发明专利]至少包含铟和镓的氧化物的蚀刻液以及蚀刻方法有效
| 申请号： | 201310713080.0 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103911159B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 竹内秀范;夕部邦夫;冈部哲;臼井麻里 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及至少包含铟和镓的氧化物的蚀刻液以及蚀刻方法，其能够适用于包含铟、镓和氧的氧化物或者包含铟、镓、锌和氧的氧化物等至少包含铟和镓的氧化物的蚀刻中。根据本发明优选的方式，通过使用包含硫酸或其盐、以及羧酸(其中，除了草酸以外)或其盐的蚀刻液，在至少包含铟和镓的氧化物的蚀刻中，具有合适的蚀刻速率且残渣去除性也良好，对于布线材料的腐蚀性也小，进而即便蚀刻液中溶解的氧化物的浓度成为高浓度，也不产生析出物，并且能够维持合适的蚀刻速率。 | ||
| 搜索关键词： | 至少 包含 氧化物 蚀刻 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻液，其为用于蚀刻至少包含铟和镓的氧化物的蚀刻液，包含硫酸或其盐、以及除了草酸以外的羧酸或其盐，所述蚀刻液的pH值为0.4以下，其中，除了草酸以外的羧酸或其盐为选自由乙醇酸、乳酸、丙二酸、马来酸、琥珀酸、苹果酸、酒石酸以及柠檬酸所组成的组的一种以上。
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