[发明专利]CIGS太阳电池用高温耐蚀蒸发束流源装置制备方法

摘要

本发明涉及一种CIGS太阳电池用高温耐蚀蒸发束流源装置制备方法，包括带有加热丝的炉体，其特点是：还包括以下制备步骤：⑴在炉体外置一层保护加热丝单元后，放入内部靠近下端置有屏蔽结构的壳体支架中；⑵在壳体支架的底部固定一个底盘，底盘的下面通过支撑杆固定在电控器上；⑶制作蒸发源顶部遮盖片和密封卡环，将密封卡环套在步骤⑴保护加热丝单元中的壳体支架上面的顶部壳体外壁，蒸发源顶部遮盖片的大圆壁卡在炉体的外沿和密封卡环之间顶部壳体的上面。本发明采用内壁上有凹槽的顶部壳体和底部壳体套在炉体外壁，加热丝有了固定的位置，延长了加热丝使用寿命；由于加热丝与炉体接触更为紧密，进一步提高了加热丝的加热效率。

主权项

CIGS太阳电池用高温耐蚀蒸发束流源装置制备方法，包括带有加热丝的炉体，其特征在于：还包括以下制备步骤：⑴在炉体外置一层保护加热丝单元后，放入内部靠近下端置有屏蔽结构的壳体支架中；所述保护加热丝单元为套在炉体外壁的顶部壳体和底部壳体，顶部壳体和底部壳体的内壁上均制有放置加热丝用的螺旋状凹槽，其中顶部壳体上端部与外圆之间有一台阶圆；所述屏蔽结构为用垂直于水平面的三个圆柱体作为屏蔽层支撑柱，在三个屏蔽层支撑柱上套入相互平行并与屏蔽层支撑柱垂直的多层钼片作为屏蔽层；⑵在壳体支架的底部固定一个底盘，步骤⑴屏蔽结构中的屏蔽层支撑柱定位在底盘的上面，底盘的下面通过支撑杆固定在电控器上；⑶用石墨制作蒸发源顶部遮盖片和密封卡环；蒸发源顶部遮盖片制成内径为台阶状的环形圈，密封卡环为内径与蒸发源顶部遮盖片外径尺寸相同的圆形圈；密封卡环套在步骤⑴保护加热丝单元中的壳体支架上面的顶部壳体外壁，所述蒸发源顶部遮盖片的大圆壁卡在炉体的外沿和密封卡环之间顶部壳体的上面。