[发明专利]振动传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201310714985.X | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN104720784A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 王竹;林同福;赵豪 | 申请（专利权）人： | 纳米新能源（唐山）有限责任公司 |
| 主分类号： | A61B5/0245 | 分类号： | A61B5/0245;A61B5/08 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 李郁;刘云贵 |
| 地址： | 063000 河北省唐山市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种振动传感器及其制备方法。该振动传感器包括依次层叠设置的第一电极层，第一高分子聚合物绝缘层，和第二电极层，第一高分子聚合物绝缘层和第二电极层之间设有可振动的框架结构。第一高分子聚合物绝缘层和第二电极层之间可增设第二高分子聚合物绝缘层，从而使可振动的框架结构在第一高分子聚合物绝缘层和第二高分子聚合物绝缘层之间形成。第一高分子聚合物绝缘层和第二高分子聚合物绝缘层之间还可进一步增设居间电极层或居间薄膜层，各层之间均可形成可振动的框架结构。本发明还提供了振动传感器的制备方法。本发明的振动传感器具有优异的低频响应性能。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种振动传感器，其特征在于，包括依次层叠设置的第一电极层，第一高分子聚合物绝缘层，和第二电极层；其中所述第一电极层设置在所述第一高分子聚合物绝缘层的第一侧表面上，所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面朝向所述第二电极层的第二侧表面设置；所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面或所述第二电极层的第二侧表面上设置有至少一个凸起结构，使得所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面和所述第二电极层的第二侧表面相互固定连接，由此形成空腔；所述第一高分子聚合物绝缘层、所述第二电极层和所述凸起结构共同形成可振动的框架结构；所述第一电极层和所述第二电极层为所述振动传感器的两个输出端。
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