[发明专利]旋转真空泵有效
| 申请号： | 201310717591.X | 申请日： | 2013-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN103939367B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | E.艾米丽 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/32;F04D29/00 |
| 代理公司： | 北京市嘉元知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11484 | 代理人： | 陈静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种旋转真空泵（30），其包括具有第一直径（D1）转子盘的第一组（I）泵级和具有第二不同直径（D2）转子盘的第二组（II）泵级，并且还包括特别适于匹配泵转子盘直径的所述变化的中间泵级（1）。根据本发明，所述中间泵级包括具有在径向方向上沿轴向从其内径至其外径逐渐变细的外部分的转子盘（5）和包括沿轴向从其周边朝向其中心逐渐变细的隔离环（7）的相应的定子级（3）。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 真空泵 | ||
【主权项】：
旋转真空泵(30)，包括其中限定有入口端口(34)和出口端口(36)的泵壳体(32)，并且还包括布置在所述入口端口(34)与所述出口端口(36)之间的所述壳体(32)之内的多个泵级，用于将气体从所述入口端口泵送至所述出口端口，所述泵级中的每个包括与所述泵壳体集成一体的定子级(12'、12”)和与中心地布置在所述壳体中的旋转轴(40)集成一体的相配合的转子盘(16'、16”、16b)，其中，所述旋转真空泵包括具有第一直径(D1)转子盘(16')的第一组(I)泵级(8')，在所泵送的气体的流动方向上，其后是具有第二不同直径(D2)转子盘(16”)的第二组(II)泵级(8”)，其特征在于，中间泵级(1)介于所述第一组(I)泵级(8')与所述第二组(II)泵级(8”)之间，其中中间泵级(1)包括转子盘(5)和定子级(3)，转子盘(5)具有包括在所述第一直径(D1)与所述第二直径(D2)之间的直径(D)并且包括在径向方向上沿轴向从其内径朝向其外径逐渐变细的外部分(11')，定子级(3)包括与所述转子盘(5)相配合的定子环(9)和沿轴向从其周边朝向其中心逐渐变细的隔离环(7)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安捷伦科技有限公司，未经安捷伦科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310717591.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
