[发明专利]一种和多晶制绒添加剂匹配的制绒后表面处理工艺无效
| 申请号： | 201310717798.7 | 申请日： | 2013-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN103696021A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 费存勇;初仁龙;王志刚;鲁伟明 | 申请（专利权）人： | 泰通（泰州）工业有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 225312 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种和多晶制绒添加剂匹配的制绒后表面处理工艺，包括以下步骤：（a）将硅片放入添加有一种新型多晶制绒添加剂体系中制绒形成减反效果更好的狭小绒面；（b）用一种较大功率的热交换器给碱槽中KOH溶液加热，再用该热碱液上下喷洗制绒完的硅片；(c)用特定浓度的HF/HCL混酸清洗硅片表面。本发明的工艺能够去除多余的纳米级多孔硅，有效减少了复合，提高了开压和并联电阻，降低了漏电电流，还能有效的防止丝网印刷烧结后铝背场疏松脱落；因为更高浓度热碱洗的缘故，导致绒面的毛细现象得到缓解，且绒坑均匀性更好，最终降低了刻蚀过刻和管P色差的概率；更高浓度的混酸清洗，也使得小绒面绒坑深处的杂质去除干净，大大降低了复合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 添加剂 匹配 制绒后 表面 处理 工艺 | ||
【主权项】：
一种和多晶制绒添加剂匹配的制绒后表面处理工艺，其特征是，包括以下步骤：（a）将硅片放入添加有多晶制绒添加剂的混酸体系中制绒形成减反效果更好的狭小绒面；（b）用一种较大功率的热交换器给碱槽中KOH溶液加热，再用该热碱液上下喷洗制绒完的硅片；(c)用特定浓度HF/HCL混酸清洗硅片表面。
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