[发明专利]超低电容固体放电管在审
申请号: | 201310718043.9 | 申请日: | 2013-12-24 |
公开(公告)号: | CN103633130A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 倪侠 | 申请(专利权)人: | 江苏东光微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/06 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 夏平 |
地址: | 214205 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 种超低电容固体放电管,它包括上下两个硼基区P,在上下两个硼基区P内分别布置四个磷扩散区N+,形成元胞式阴极。本发明的上下两个硼基区P的外侧均设有金属层;在上下两个硼基区P内的磷扩散区N+等距分布;磷扩散区N+的结深为25~30μm;在上下两个硼基区P的结深均为10~15μm。本发明在原低电容结构设计基础上,将阴极调整为元胞式分布,提高每个元胞阴极的热沉周长,从而在相同芯片面积的基础上增加通流能力。基于该设计,原芯片面积可进行缩减,进而减小PN结面积,降低结电容。 | ||
搜索关键词: | 电容 固体 放电 | ||
【主权项】:
一种超低电容固体放电管,它包括上下两个硼基区P(1),其特征是在上下两个硼基区P(1)内分别布置四个磷扩散区N+(2),形成元胞式阴极。
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