[发明专利]超低电容固体放电管在审

专利信息
申请号: 201310718043.9 申请日: 2013-12-24
公开(公告)号: CN103633130A 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 倪侠 申请(专利权)人: 江苏东光微电子股份有限公司
主分类号: H01L29/74 分类号: H01L29/74;H01L29/06
代理公司: 南京天华专利代理有限责任公司 32218 代理人: 夏平
地址: 214205 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 种超低电容固体放电管,它包括上下两个硼基区P,在上下两个硼基区P内分别布置四个磷扩散区N+,形成元胞式阴极。本发明的上下两个硼基区P的外侧均设有金属层;在上下两个硼基区P内的磷扩散区N+等距分布;磷扩散区N+的结深为25~30μm;在上下两个硼基区P的结深均为10~15μm。本发明在原低电容结构设计基础上,将阴极调整为元胞式分布,提高每个元胞阴极的热沉周长,从而在相同芯片面积的基础上增加通流能力。基于该设计,原芯片面积可进行缩减,进而减小PN结面积,降低结电容。
搜索关键词: 电容 固体 放电
【主权项】:
一种超低电容固体放电管,它包括上下两个硼基区P(1),其特征是在上下两个硼基区P(1)内分别布置四个磷扩散区N+(2),形成元胞式阴极。
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