[发明专利]用于低速重载车削钢、不锈钢的刀具涂层

摘要

本发明为用于低速重载车削钢、不锈钢的刀具涂层，解决已有刀具涂层工艺复杂，而且工艺气体耗费较高的问题。所述的涂层为复合涂层，复合涂层与基体接触的为第一TiN层，依次沉积第一TiC层、第一TiCN、第二TiC、第二TiCN、第二TiN层，第一TiN层的沉积温度880900℃，沉积压力95—101KPa，使用气体为TiCl₄、H₂、N₂、Ar，其中TiCl₄用载H₂带入反应炉中，TiCl₄水温45—48℃，涂层厚度0.5—1um，第一TiC层沉积温度1000—1100℃，沉积压力6kPa—50kPa，使用气体为TiCl₄、H₂、CH₄，TiCl₄用载H₂带入反应炉中，TiCl₄水温45—48℃，涂层厚度0.5—1um，第一TiCN层沉积温度1000—1100℃，沉积压力6kPa—50kPa，使用气体为TiCl₄、H₂、CH₄、N₂、Ar，涂层厚度2—4um，第二TiC层沉积工艺及厚度与第一TiC层完全一致，第二TiCN层沉积工艺及厚度与第一TiCN完全一致。

主权项

用于低速重载车削钢、不锈钢的刀具涂层，其特征在于所述的涂层为复合涂层，复合涂层与基体接触的为第一TiN层，依次沉积第一TiC层、第一TiCN、第二TiC、第二TiCN、第二TiN层，第一TiN层的沉积温度880—900℃，沉积压力95—101KPa，使用气体为TiCl₄、H₂、N₂、Ar，其中TiCl₄用载H₂带入反应炉中，TiCl₄水温45—48℃，涂层厚度0.5—1um，第一TiC层沉积温度1000—1100℃，沉积压力6kPa—50kPa，使用气体为TiCl₄、H₂、CH₄，TiCl₄用载H₂带入反应炉中，TiCl₄水温45—48℃，涂层厚度0.5—1um，第一TiCN层沉积温度1000—1100℃，沉积压力6kPa—50kPa，使用气体为TiCl₄、H₂、CH₄、N₂、Ar，TiCl₄用载H₂带入反应炉中，TiCl₄水温45—48℃，涂层厚度2—4um，第二TiC层沉积工艺及厚度与第一TiC层完全一致，第二TiCN层沉积工艺及厚度与第一TiCN完全一致，第二TiN层，可以采用HT—CVD方法沉积，也可以采用MT—CVD方法沉积，主要作用是为了用TiN涂层美丽的金黄色判断刀具刃口的使用情况，便于用户管理，其沉积温度850—1100℃，沉积压力95—101KPa，使用气体为TiCl₄、H₂、N₂、Ar，其中TiCl₄用载H₂带入反应炉中，TiCl₄水温45—48℃，涂层厚度0.5—1um。