[发明专利]静电预加载的微纳材料力学性能检测结构

摘要

本发明提出一种静电预加载的微纳材料力学性能检测结构，包括后屈曲式微力检测结构和静电式屈曲预加载结构,其中，静电式屈曲预加载结构在加载电压后能够利用静电作用力引发内部构件变形以实施预加载，当电热式屈曲预加载结构未实施预加载时，后屈曲式微力检测结构处于自然的无加载状态，当静电式屈曲预加载结构实施预加载时，后屈曲式微力检测结构被轴向压缩，处于预加载屈曲平衡状态，然后后屈曲式微力检测结构受到试件的轴向微力作用，预加载屈曲平衡状态发生改变，使后屈曲式微力检测结构发生放大的横向结构变化，从而实现微力检测。本发明具有尺寸小、稳定可靠，可重复使用，容易制造，对轴向微力敏感，力分辨率高，横向变形可控制等优点。

主权项

一种静电预加载的微纳材料力学性能检测结构，其特征在于，包括：后屈曲式微力检测结构和静电式屈曲预加载结构,所述后屈曲式微力检测结构与所述静电式屈曲预加载结构相连，其中，所述静电式屈曲预加载结构被构造为加载电压后能够利用静电作用力引发内部构件变形以实施预加载；所述后屈曲式微力检测结构被构造为当所述静电式屈曲预加载结构未实施预加载时，所述后屈曲式微力检测结构处于自然的无加载状态，当静电式屈曲预加载结构实施预加载时，所述后屈曲式微力检测结构被轴向压缩，处于预加载屈曲平衡状态，然后所述后屈曲式微力检测结构受到试件的轴向微力作用，所述预加载屈曲平衡状态发生改变，使所述后屈曲式微力检测结构发生放大的横向结构变化，从而实现微力检测。