[发明专利]一种改进型常压等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201310719322.7 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103730322A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王红卫;沈文凯 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种改进型常压等离子体处理装置，包括一阴极板，与所述阴极板相对应的阳极板，所述阴极板和所述阳极板之间接入高频电源，所述阴极板和所述阳极板之间形成高频电场，所述阴极板和所述阳极板之间有一绝缘层，所述阴极板上设置有至少一个通气孔，所述通气孔用以气体的进入，所述通气孔与一气体腔连接，被处理物料设置在所述绝缘层上，本发明的等离子体处理装置可以简单均匀地处理物料，且不需要再真空条件下进行，只要在常压下就能很好的处理需要处理的物料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 常压 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种改进型常压等离子体处理装置，包括一阴极板，与所述阴极板相对应的阳极板，所述阴极板和所述阳极板之间接入高频电源，所述阴极板和所述阳极板之间形成高频电场，其特征在于，所述阴极板厚度大于所述阳极板厚度，所述阴极板和所述阳极板之间有一绝缘层，所述阴极板上设置有至少一个通气孔，所述通气孔用以气体的进入，所述通气孔与一气体腔连接，被处理物料设置在所述绝缘层上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州市奥普斯等离子体科技有限公司，未经苏州市奥普斯等离子体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310719322.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：片上变压器的衬底涡流的射频模型方法
- 下一篇：索绪锅盖板
