[发明专利]一种涂布机喷嘴清洁装置在审
| 申请号： | 201310719683.1 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103846183A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张岳妍 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/02 | 分类号： | B05B15/02 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂布机喷嘴清洁装置。所述涂布机喷嘴清洁装置包括清洁器、去胶溶剂供应装置、排液装置，所述清洁器具有与喷嘴匹配的凹槽，所述凹槽的侧壁上设置有去胶溶剂供应孔，所述去胶溶剂供应装置与所述去胶溶剂供应孔连接以供应去胶溶剂至所述凹槽内，所述凹槽的底壁上设置有排液孔，所述排液装置与所述排液孔连接。通过去胶溶剂溶解残留在喷嘴上的光刻胶，并经排液孔将其排出，顺畅地清除残留在喷嘴上的光刻胶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂布机 喷嘴 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布机喷嘴清洁装置，其特征在于，所述涂布机喷嘴清洁装置包括清洁器（200）、去胶溶剂供应装置（300）、排液装置（500），所述清洁器（200）具有与喷嘴（100）匹配的凹槽（210），所述凹槽（210）的侧壁上设置有去胶溶剂供应孔（202），所述去胶溶剂供应装置（300）与所述去胶溶剂供应孔（202）连接以供应去胶溶剂至所述凹槽（210）内，所述凹槽（210）的底壁上设置有排液孔（206），所述排液装置（500）与所述排液孔（206）连接。
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