[发明专利]三氯化铁刻蚀废液的净化与再生方法

摘要

一种三氯化铁刻蚀废液的净化与再生方法，主要解决刻蚀不锈钢等铁合金材料产生的三氯化铁废液，含有铬、锰、镍等毒害金属离子的问题。本发明首先检测三氯化铁刻蚀废液中总铁含量和二价铁离子含量，加入盐酸和水将废液稀释，并调pH至0.5-1；将稀释后的三氯化铁刻蚀废液转移至电解槽，将液体升温至40-60℃，选择耐酸耐腐蚀阴极材料和惰性耐腐蚀阳极材料，通入不同电流密度的电流进行电解反应；随着电解时间的进行，Cr3+、Mn2+、Ni2+等毒害杂离子在钛板阴极表面还原为金属沉积出来。本发明实现了三氯化铁蚀刻废液的净化和再生，清洁低耗，达到了废弃物的无害化处理和循环再利用的环保要求。

主权项

一种三氯化铁刻蚀废液的净化与再生方法，该方法实现步骤如下：（1）采用电感耦合等离子体原子发射光谱分析仪检测原始三氯化铁刻蚀液以及三氯化铁刻蚀废液中总铁、铬、锰、镍离子的含量，并且采用高锰酸钾法测定所述三氯化铁刻蚀废液中二价铁浓度，根据废液中二价铁总量按摩尔比n(Fe2+):n(HCL)=1:1向三氯化铁刻蚀废液中加入盐酸稀释，根据原始三氯化铁刻蚀液和三氯化铁刻蚀废液中总铁含量确定稀释倍数，补充水量应扣除加入盐酸的量，总铁含量为三价铁与二价铁含量的总和；（2）将稀释后的三氯化铁刻蚀废液转移至电解槽，将液体升温至40‑60℃，以石墨、碳棒或铅为阳极，以钛或其合金板为阴极，空气搅拌，通入不同电流密度的电流进行电解反应；（3）在15‑25A/dm2的电流密度下电解30‑60min，使镍、锰和铬离子得到有效去除；（4）停止电解，取出钛阴极板清理铬、锰、镍金属，回收利用；（5）电解沉积过程中，三氯化铁刻蚀废液中的二价铁离子被阳极产生的氯气氧化为三价铁离子，三氯化铁刻蚀废液颜色由深绿色又逐渐变回黄棕色，刻蚀废液得到再生，循环利用。