[发明专利]氧化锌/聚吡咯纳米复合电阻型薄膜气体传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201310720149.2 | 申请日： | 2013-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN103713019A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 范开成;李扬;朱理智;杨慕杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锌/聚吡咯纳米复合电阻型薄膜气体传感器及其制备方法，该气体传感器包括依次设置的陶瓷基体、叉指金电极和气敏薄膜，所述的气体敏感薄膜为具有纳米片层结构的氧化锌/聚吡咯复合物，由于纳米复合物具有大的比表面积利于气体吸附扩散，同时n-型氧化锌和p-型聚吡咯纳米片层复合物之间接触良好，形成p/n结，而且界面电阻很小，使得其电性能受到吸附气体影响可以发生显著变化，因此该气体传感器在室温下对氨气具有非常高的响应灵敏度，可在工农业生产过程及大气环境中低浓度氨气的精确测量与控制等领域得到广泛应用。本发明还提供了制备该气体传感器的方法，该方法具有制备简便、成本低等优点，适合于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 吡咯 纳米 复合 电阻 薄膜 气体 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
氧化锌/聚吡咯纳米复合电阻型薄膜气体传感器，其特征在于：它具有陶瓷基体⑴，在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极⑵，在叉指金电极上连接有引线⑷，在陶瓷基体和叉指金电极表面有气敏薄膜⑶，该气敏薄膜为具有纳米片层结构的氧化锌与聚吡咯的纳米复合物。
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