[发明专利]硅烷反歧化制备氯硅烷的设备及方法

摘要

本发明涉及硅烷反歧化制备氯硅烷的设备及方法，将多晶硅还原炉尾气、三氯氢硅（或二氯二氢硅）和四氯化硅通入反歧化反应工段，在催化剂的作用下发生反歧化反应，反应的温度30～80℃，反应压力0.1～5MPa，四氯化硅：三氯氢硅（或二氯二氢硅）：硅烷进料摩尔比范围为(3～1000):(0.1～5):1，生成二氯二氢硅；生成的二氯二氢硅又与过量的四氯化硅发生反歧化反应生成三氯氢硅；三氯氢硅与氢气从塔顶排出，并经过塔顶冷凝器分离；过量的四氯化硅由精馏塔底排出。本发明不需要硅烷储罐，将未分解的硅烷利用反歧化工艺合成三氯氢硅。降低了硅烷法制备多晶硅的生产的危险性，同时提高了原料的利用率，降低了工艺的总投资。

主权项

一种硅烷反歧化制备氯硅烷的设备，其特征包括：多晶硅还原炉（1）和反歧化反应工段（2）；多晶硅还原炉尾气出口管线（b）、三氯氢硅管线（c）和四氯化硅管线（d）与反歧化工段（2）中催化精馏塔相连；催化精馏塔塔顶冷凝器出料口为分离出去的氢气管线（e）和反歧化反应生成三氯氢硅出口管线（f）；塔底出料口为未反应的四氯化硅管线（g）。