[发明专利]一种氢气环境晶体高温退火装置

摘要

本发明公开了一种氢气环境晶体高温退火装置，主要包括依次相连的上料区域、温场加热区域及下料区域，所述温场加热区域上方设置有氢气微气氛区域，在氢气微气氛区域两端分别设置有氢气消耗装置，所述氢气消耗装置通过氢气渗透孔与氢气微气氛区域连通，在各个区域分别设置有轮毂和传动履带，其中温场加热区域为密封区域，在温场加热区域内充有氢气，且温场加热区域的压强为3个标准大气压。本发明通过在上料区域将晶体材料放置于隔绝材料层中并置于传送履带上，在轮毂带动下以此经过温场加热区域，以实现晶体材料的还原氢高温退火工艺，可以增加一次退火量，使得大尺寸的晶体材料可以连续进入炉膛，减少了退火频率，进而减少了退火制程成本。

主权项

一种氢气环境晶体高温退火装置，主要包括依次相连的上料区域（1）、温场加热区域（2）及下料区域（3），其特征在于：所述温场加热区域（2）上方设置有氢气微气氛区域（4），在氢气微气氛区域（4）两端分别设置有氢气消耗装置（7），所述氢气消耗装置（7）通过氢气渗透孔（8）与氢气微气氛区域（4）连通。