[发明专利]大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法

摘要

本发明公开了一种大口径光学元件表面损伤检测装置，该装置主要包括：专用夹具，对待检测光学元件进行定位和夹紧；激光自准直仪，安装于可检测到待检测光学元件的位置，用于检测待检测光学元件的姿态信息；线阵相机组件，安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部缩小的线阵图像；显微镜组件，安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部放大的面阵图像；扫描聚焦组件，对于待检测光学元件表面进行扫描、定位和聚焦；数据采集处理系统，对于专用夹具和扫描聚焦组件的运动进行控制，并对接收到的图像进行存储、处理和图像损伤信息分析。本发明具有广泛的应用前景和可观的社会经济效益。

主权项

一种大口径光学元件表面损伤检测装置，其特征在于，该装置包括：专用夹具、激光自准直仪、线阵相机组件、显微镜组件、扫描聚焦组件和数据采集处理系统，其中：所述专用夹具固定安装在检测平台上，用于实现待检测光学元件的定位和夹紧，并根据数据采集处理系统的调整指令对待检测光学元件的姿态进行调整；所述激光自准直仪安装于可检测到待检测光学元件的位置，用于检测待检测光学元件的姿态信息，并将检测到的姿态信息反馈给所述数据采集处理系统；所述线阵相机组件安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部缩小的线阵图像，并将获取到的线阵图像发送给所述数据采集处理系统进行存储、处理和分析；所述显微镜组件安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部放大的面阵图像，并将获取到的面阵图像发送给所述数据采集处理系统进行存储、处理和分析；所述扫描聚焦组件与所述线阵相机组件、显微镜组件和激光自准直仪连接，用于根据所述数据采集处理系统的驱动指令运动，以实现所述线阵相机组件、所述显微镜组件或激光自准直仪对于待检测光学元件表面的扫描、定位和聚焦；所述数据采集处理系统与所述激光自准直仪、线阵相机组件、显微镜组件和扫描聚焦组件连接，用于对于所述专用夹具和扫描聚焦组件的运动进行控制，并对接收到的图像进行存储、处理和图像损伤信息分析。