[发明专利]一种740合金表面抗氧化涂层的制备方法有效
申请号: | 201310724765.5 | 申请日: | 2013-12-23 |
公开(公告)号: | CN103710669A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 谭毅;游小刚;李佳艳;石爽;廖娇;秦世强 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/16 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 赵淑梅;李馨 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种740合金表面抗氧化涂层的制备方法,属于合金表面镀膜领域。一种740合金表面抗氧化涂层的制备方法,所述方法为电子束物理气相沉积法,其包括预热和沉积的步骤,所述预热步骤为:于电子束物理气相沉积装置真空室真空度小于5×10-2Pa,电子枪体真空度小于5×10-3Pa下,电子束轰击740合金基板,束流大小为30~60mA,轰击时间3~5min。用电子束物理气相沉积的方法在Inconel740合金表面制备NiAl涂层后,氧化物在NiAl相晶界处富集,合金的循环抗氧化性能得到提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 740 合金 表面 氧化 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种740合金表面抗氧化涂层的制备方法,其特征在于:所述方法为电子束物理气相沉积法,其包括预热和沉积的步骤,所述预热步骤为:于电子束物理气相沉积装置真空室真空度小于5×10‑2Pa,电子枪体真空度小于5×10‑3Pa下,电子束轰击740合金基板,束流大小为30~60mA,轰击时间3~5min。
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