[发明专利]一种等离子加工高密度氧化铝的装置及方法

摘要

一种等离子加工高密度氧化铝的装置及方法，属于蓝宝石晶体用高密度氧化铝技术领域。其特征在于：本发明在加料漏斗下方设有射频等离子发生器（8）、等离子火炬（10），等离子火炬（10）外绕有高频感应线圈（7），等离子火炬（10）的下方有接料用的沉积台（12）；氧化铝粉末由加料漏斗加料后，在等离子火炬（10）中下落的过程中发生瞬间熔融。并在沉积台（12）发生定向结晶的凝固过程从而得到高纯高密氧化铝。本发明的装置和方法对高纯氧化铝不但没有污染还能够在高温的等离子体作用下使氧化铝内的部分杂质挥发使氧化铝进一步纯化。本发明能够保持工艺连续进行，不但加快了生产效率还能保持产品的性能稳定。

主权项

一种等离子加工高密度氧化铝的装置，其特征在于：包括加料漏斗、射频等离子发生器（8）、等离子火炬（10）、高频感应线圈（7）、沉积台（12）、不锈钢水冷反应器（14），所述加料漏斗下方设有射频等离子发生器（8），射频等离子发生器（8）下方设有等离子火炬（10），等离子火炬（10）外绕有高频感应线圈（7），等离子火炬（10）的下端连接固定在不锈钢水冷反应器（14）的上开口上，不锈钢水冷反应器（14）内设有多方位旋转移动组件支撑的沉积台（12）；加料漏斗、射频等离子发生器（8）、等离子火炬（10）、沉积台（12）在同一竖直线上，保证加料漏斗内漏出的料能经过射频等离子发生器（8）和等离子火炬（10）后落到沉积台（12）上，多方位旋转移动组件能够携载沉积台（12）在上、下、左、右方向往复移动。