[发明专利]一种精密针孔对准调试方法

摘要

本发明涉及光学精密装调技术领域，其提供了一种精密针孔对准调试方法。所述方法采用激光器、第一半反半透镜、第二半反半透镜、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第三聚焦透镜、第四聚焦透镜、针孔装置、三维调整台、全反镜、第一CCD以及第二CCD等元件对精密针孔进行对准调试，以实现精确的空间滤波器装调。另外，本发明还提供了一种精密针孔对准调试系统。

主权项

一种精密针孔对准调试系统，其特征在于，包括激光器、第一半反半透镜、第二半反半透镜、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第三聚焦透镜、第四聚焦透镜、针孔装置、三维调整台、全反镜、第一CCD以及第二CCD；所述三维调整台调整针孔装置中针孔的方向位置；所述激光器、第一聚焦透镜以及第二聚焦透镜搭建聚焦扩束光路，所述全反镜放置在聚焦扩束光路上，以使光路能原路返回；所述激光器发射的激光通过第一半反半透镜透射到第一聚焦透镜，并继续经过针孔装置的针孔、第二聚焦透镜、第二半反半透镜反射到第四聚焦透镜上，所述第二CCD位于第四聚焦透镜焦点处；所述全反镜将经过第二半反半透镜透射的光路原路返回；原路返回的激光再次透过第二半反半透镜、第二聚焦透镜、针孔装置的针孔和第一聚焦透镜，在第一半反半透镜处反射到第三聚焦透镜，所述第一CCD位于第三聚焦透镜焦点处；通过精调第一聚焦透镜和第二聚焦透镜的间距，使第一、第二CCD的焦点像最小，并调整针孔装置中针孔的XY方向位置，使第二CCD上能看到激光焦点像，并调整针孔的Z方向位置，使第二CCD的焦点像最亮；在第一CCD上观察返回光的像，若观察不到，对第一、第二聚焦透镜的方位进行微调，使反射光焦点能在第一CCD上成像；重复针孔方向位置和第一、第二聚焦透镜的方位的调整，直到第一、第二CCD上都形成有激光焦点像。