[发明专利]一种Pt－碱金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201310731715.X | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104746011A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;陈吉星;王平;张振华 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种Pt－碱金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，包括步骤将清洗干净的玻璃衬底放入制膜设备反应室中；将金属铂粉末和碱金属碳酸盐粉末分别放置在两个瓷舟中，再将两个瓷舟放入制膜设备反应室的恒温中心位置，玻璃衬底置于两个瓷舟上方并与两个瓷舟紧贴；对反应室抽真空处理；对反应室加热到500～1100℃后，向反应室通入氩气，并对铂源和碱金属碳酸盐蒸发处理；待上述步骤完成后，制得所述Pt－碱金属氧化物纳米线透明导电薄膜。本发明采用热蒸发设备，制备Pt－碱金属氧化物纳米线透明导电薄膜，得到薄膜的方块电阻低至22Ω/□，可见光透过率达89%，表面功函数达2.6eV。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pt 碱金属 氧化物 纳米 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种Pt－碱金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）、将清洗干净的玻璃衬底放入制膜设备的反应室中；（2）、将金属铂粉末和碱金属碳酸盐粉末分别放置在两个瓷舟中，再将两个瓷舟放入制膜设备反应室的恒温中心位置并分别位于玻璃衬底两侧，且盛放铂源粉末的瓷舟位于反应室气流入口方向的第一热源位置，盛放碱金属碳酸盐粉末的瓷舟位于反应室气流出口方向的第二热源位置；（3）、对反应室抽真空处理，使反应室内的真空度保持在102Pa～103Pa；（4）、启动第一热源和第二热源，对反应室加热到500～1100℃后，向反应室通入载气氩气，且氩气流速为50～180cm3/min，然后在第一热源作用下对铂源蒸发时间10～40min，在第二热源作用下对碱金属碳酸盐蒸发时间3～20min；待上述步骤完成后，制得所述Pt－碱金属氧化物纳米线透明导电薄膜。
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