[发明专利]基于摩擦诱导选择性刻蚀的砷化镓表面微纳米加工方法

摘要

一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的砷化镓表面微纳米加工方法，主要应用于砷化镓表面微纳米结构的加工。其具体操作方法是：将金刚石探针安装在扫描探针显微镜或多点接触微纳米加工设备上，将清洗过的砷化镓固定在样品台上，启动设备，给探针施加不小于理论临界载荷F_c的载荷F，并使探针按照设定的扫描轨迹在砷化镓表面进行扫描；将H₂SO₄、H₂O₂、H₂O按H₂SO₄:H₂O₂:H₂O=1:0.5:100的体积比配制混合溶液，再将扫描后的砷化镓置于所述的混合溶液中刻蚀5-120分钟，即可。该方法能在砷化镓表面加工出各种形状的凸起结构，且其操作简单、成本低、效率高、灵活性强。

主权项

1.一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的砷化镓表面微纳米加工方法，其具体操作是：A、将金刚石探针安装在扫描探针显微镜或多点接触微纳米加工设备上，将清洗过的砷化镓固定在样品台上，启动设备，给探针施加不小于理论临界载荷F_c的载荷F，并使探针按照设定的扫描轨迹在砷化镓表面进行扫描；所述的理论临界载荷F_c，按以下方法确定:A1、由公式算出金刚石探针和砷化镓的等效弹性模量E，式中v₁、v₂分别为金刚石探针和砷化镓的泊松比,E₁、E₂分别为金刚石探针和砷化镓的弹性模量；A2、由公式算出砷化镓发生屈服的临界应力所对应的理论临界载荷F_c，式中σ_c为砷化镓发生屈服的临界应力，R是金刚石探针的等效曲率半径；B、将H₂SO₄、H₂O₂和H₂O按H₂SO₄:H₂O₂:H₂O=1:0.5:100的体积比配制混合溶液，再将扫描后的砷化镓置于混合溶液中刻蚀5-120分钟，即可。