[发明专利]电机闭环控制磁控溅射平面阴极装置

摘要

电机闭环控制磁控溅射平面阴极装置包括平面磁控阴极模块、控制电机模块及闭环控制模块；平面磁控阴极模块包括磁路模块、靶材；控制电机模块包括电机、电机驱动模块及编码模块；电机驱动模块分别连接电机及编码模块，通过闭环控制模块采集平面磁控阴极模块的溅射阴极的溅射电源信号作为反馈信号，而编码模块则将反馈信号编码为电机驱动模块驱动电机转动的控制信号，因而能够控制电机的转速和转向，使得与电机连接的磁路模块与靶材表面的距离在靶材寿命周期内保持动态不变。从而能够克服现有磁控溅射平面阴极在靶材溅射寿命周期内因靶材刻蚀导致的工艺参数漂移，以排除其工艺调试研发中对薄膜结构性能的影响。

主权项

一种电机闭环控制磁控溅射平面阴极装置，其特征在于，包括平面磁控阴极模块、控制电机模块及闭环控制模块；所述平面磁控阴极模块包括磁路模块、靶材；所述控制电机模块包括电机、电机驱动模块及编码模块；所述电机驱动模块分别连接所述电机及所述编码模块，所述闭环控制模块分别连接所述控制电机模块和所述平面磁控阴极模块；所述电机通过螺杆与所述磁路模块连接，所述电机驱动模块控制所述电机的转向和转速，使与所述电机连接的所述磁路模块沿所述靶材法线方向移动；所述闭环控制模块采集所述平面磁控阴极模块的溅射阴极的溅射电源信号作为反馈信号，控制所述编码模块将反馈信号编码为所述电机驱动模块驱动所述电机转速和转向的控制信号，所述电机驱动模块按所述控制信号驱动所述电机，使与所述电机连接的所述磁路模块与所述靶材表面的距离在所述靶材寿命周期内保持动态不变。