[发明专利]一种真空镀膜加热装置无效
| 申请号： | 201310734315.4 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103710664A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王进东 | 申请（专利权）人： | 江苏宇天港玻新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 朱庆华 |
| 地址： | 223100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空镀膜加热装置，包括上层加热模块、中层加热模块和下层加热模块，其特征在于，所述上层加热模块包括第一加热丝，所述中层加热模块包括第二加热丝、第三加热丝和第四加热丝，所述下层加热模块包括第五加热丝，所述第一加热丝、所述第二加热丝、所述第三加热丝、所述第四加热丝和所述第五加热丝上均设置有热电偶。本发明的真空镀膜加热装置，通过提高加热丝的加热效率，从而提高产品的生产效率，降低了加热丝异常带来的产品品质问题,从而提高产品良率；此外，可以使加热的温度保持得非常均匀，使得工艺更稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜加热装置，包括上层加热模块、中层加热模块和下层加热模块，其特征在于，所述上层加热模块包括第一加热丝，所述中层加热模块包括第二加热丝、第三加热丝和第四加热丝，所述下层加热模块包括第五加热丝，所述第一加热丝、所述第二加热丝、所述第三加热丝、所述第四加热丝和所述第五加热丝上均设置有热电偶。
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