[发明专利]一种抓手自锁的硅片边缘保护装置有效
| 申请号： | 201310734603.X | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN104749891A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 黄静莉;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种抓手自锁的硅片边缘保护装置，包括伺服电机、减速机构、垂向运动机构以及抓手装置，其特征在于：所述抓手装置包括一向下的锥面凸轮以及紧贴锥面凸轮的推杆，所述抓手装置在垂向运动的过程中，所述锥面凸轮的锥面通过推杆推动杠杆带动抓爪打开、合拢。本发明提出的抓手自锁的硅片边缘保护装置，结构简单，工艺性好，加工制造容易，自定心性好，适应性强，且具有自锁功能，并能防止保护环夹紧变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抓手 硅片 边缘 保护装置 | ||
【主权项】：
一种抓手自锁的硅片边缘保护装置，包括伺服电机、减速机构、垂向运动机构以及抓手装置，其特征在于：所述抓手装置包括一向下的锥面凸轮以及紧贴锥面凸轮的推杆，所述抓手装置在垂向运动的过程中，所述锥面凸轮的锥面通过推杆推动杠杆带动抓爪打开、合拢。
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