[发明专利]一种具有碰撞保护功能的硅片边缘保护装置有效
| 申请号： | 201310734687.7 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN104749892B | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 黄静莉;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种具有碰撞保护功能的硅片边缘保护装置，与交接机械手连接，硅片边缘保护装置包括电气控制模块、垂向运动机构，其特征在于还包括碰撞保护机构，连接于所述电气控制模块和垂向运动机构之间；当工作过程中发生意外碰撞时，所述碰撞保护机构将所述电气控制模块的伺服电机与所述垂向运动机构的丝杆分离。本发明具有碰撞保护功能的硅片边缘保护装置具有碰撞过载保护功能，杜绝了事故隐患，提高了光刻机的安全可靠性，消除了硅片的破损率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 碰撞 保护 功能 硅片 边缘 保护装置 | ||
【主权项】：
一种具有碰撞保护功能的硅片边缘保护装置，与交接机械手连接，硅片边缘保护装置包括电气控制模块、垂向运动机构，其特征在于：还包括碰撞保护机构，连接于所述电气控制模块和垂向运动机构之间；当工作过程中发生意外碰撞时，所述碰撞保护机构将所述电气控制模块的伺服电机与所述垂向运动机构的丝杆分离，所述碰撞保护机构包括传动滑销、压缩弹簧、传动套，在压缩弹簧作用下，传动滑销与传动套相啮合，传动套将运动传递至垂向运动机构，当工作过程中发生意外碰撞时，传递的扭矩超过限定值，所述传动滑销移动压缩弹簧与传动套脱开，中断伺服电机输出扭矩的传递。
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