[发明专利]一种金刚石膜涂层汽车铝轮毂刀片的制备工艺

摘要

本发明提供了一种金刚石膜涂层汽车铝轮毂刀片的制备工艺，通过清洗干燥、抛研工件、预处理、形核、生长、沉积阶段、反打等步骤在硬质合金轮毂刀片基体上沉积10-15μm金刚石膜涂层，从而使CVD涂层刀片既保持坚硬的切削性能又克服了聚晶金刚石复合片刀尖强度较低不能承受切削冲击力和切削抗力变化的变化而崩刃的严重问题。

主权项

一种金刚石膜涂层汽车铝轮毂刀片的制备工艺，其特征在于其工艺步骤为：第一步：清洗干燥：在恒温干燥室内清洗去防锈油，通过清洗干燥联动装置将清洗的工件进入干燥箱，温度控制在85‑90 ℃；所述清洗干燥联动装置是：高压喷淋清洗机由输送带或悬挂线送入待清洗的工件，经过一定的程序，完成工件的除油、清洗、烘干、然后由输送带自动送出；第二步：抛研工件：用金刚石微粉抛研上步清洗干燥后的工件，使涂层金刚石膜形成框架基础；第三步：预处理：用自制的溶液在超声波清洗机中刻蚀工件表面，烘干；所述自制的溶液是：用Na₂FeO_4、KOH、H₂0按重量比1:2:20的比例配制而成；第四步：再次清洗：超声波清洗机中使用丙酮与无水乙醇按照重量比为3:7的配比，再次进行脱脂、去污、清洗、干燥；第五步：调节设备：将上步烘干的工件置于热丝CVD沉积设备基片台上，将热丝CVD沉积设备抽真空至热偶计示数为5‑6 Pa，30‑40 min，热丝加电压电流逐步加热至1800‑2000 ℃；同时输入C、H分别至1‑2Pa,对工件涂层面形核；同时输入Ar至0.5‑1.5Pa，对工件加负偏压5A；第六步：形核阶段：上步加热时间完成后，调节热丝CVD沉积设备的热丝电压电流逐步加热至2500℃，将热丝CVD沉积设备抽真空至热偶计示数为6‑7 Pa， 50 min；第七步：生长、沉积阶段：上步加热时间完成后，调节热丝电压电流逐步加热至2800℃，将热丝CVD沉积设备抽真空至热偶计示数为6‑7 Pa，加热6小时；第八步：反打：调整正偏压至8A运行约15 min，反打完成，金刚石薄膜沉积完毕。