[发明专利]一种提高ITO导电薄膜表面红外波段透光率的方法

摘要

一种提高ITO导电薄膜表面红外波段透光率的方法，利用皮秒激光在离焦情况下，在ITO导电薄膜表面制作大面积纳米波纹结构，既能有效增加薄膜太阳能电池中感光材料表面红外光波的辐照量，又能保证ITO导电薄膜电阻在每平方厘米40Ω以下，从而提升薄膜太阳能电池的发电效率。

主权项

一种提高ITO导电薄膜表面红外波段透光率的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)首先，调节皮秒激光器输出激光波长为1064nm，重频1KHz，脉宽10ps，调节激光功率衰减片，使激光功率在22‑25mw之间；2)其次，在光路中选用焦距为150mm的聚焦透镜用于聚焦光束，在聚焦透镜前加装小孔光阑，并调节小孔光阑通光孔大小，使沿着光路方向离焦点2mm处光斑大小为40‑45μm；3)最后，利用调好的皮秒激光辐照可移动载物台上的ITO导电薄膜，可移动载物台沿水平方向移动，速度为2‑4mm/s，当激光光斑达到ITO导电薄膜水平方向的边缘时，可移动载物台在竖直方向移动30‑40μm距离，然后继续在水平方向以2‑4mm/s的速度移动，重复这样的步骤，直至做出大面积纳米波纹结构为止，整个加工过程中皮秒激光光束中心线必须与ITO导电薄膜表面保持垂直，而且ITO导电薄膜表面与皮秒激光的焦点位置距离为2‑3mm。