[发明专利]基于短腔腔增强关联光谱技术测量气体浓度的装置及采用该装置测量气体浓度的方法

摘要

基于短腔腔增强关联光谱技术测量气体浓度的装置及采用该装置测量气体浓度的方法，涉及激光吸收光谱领域，具体涉及一种用于气体浓度高灵敏测量装置和方法。本发明是为了解决现有的腔增强TDLAS技术中出现的稳定性差、成本高和体积大的问题。经过信号调制器调制的多模激光器发出的激光，经过分光镜分成两束，一束激光经过参考气池后被参考探测器接收，另外一束激光穿过光隔离器、前置光阑、后置光阑以及两端均设置有高反射镜的高反射腔样品池后由样品探测器接收，两路探测器信号均输入到数据采集处理器进行分析处理，最后得到待测气体的浓度。本发明适用于测量痕量气体浓度。

主权项

基于短腔腔增强关联光谱技术测量气体浓度的装置，其特征在于，该装置包括多模激光器（1）、分光镜（2）、光隔离器（3）、一号反光镜（4）、二号反光镜（5）、三号反光镜（6）、前置光阑（7）、后置光阑（8）、高反射腔样品池（9）、样品光路探测器（10）、参考光路探测器（11）、参考光路参考池（12）、数据采集处理器（13）和信号调制器（14）；信号调制器（14）发射温度调制信号至多模激光器（1）的温度接收端，同时信号调制器（14）发射电流调制信号至多模激光器（1）的电流接收端，多模激光器（1）发射一束光束至分光镜（2），分光镜（2）将所述光束分为两束，经该分光镜（2）反射的光为参考光，经该分光镜（2）透射的光为样品光，所述参考光经入射至三号反光镜（6），经该三号分光镜（6）反射后的光束发送至参考光路参考池（12）的光输入端，经该参考光路参考池（12）输出的参考光束入射至参考光路探测器（11）的光信号输入端；参考光路探测器（11）的电信号输出端连接至数据采集处理器（13）的参考光信号输入端；样品光入射至光隔离器（3），经该光隔离器（3）输出至一号反光镜（4），经该一号反光镜（4）反射后发送至二号反光镜（5），经二号反光镜（5）反射后的反射光依次穿过前置光阑（7）和后置光阑（8）的中央缝隙后，入射至高反射腔样品池（9），该高反射腔样品池（9）输出的光束入射至样品光路探测器（10）的光输入端，该样品光路探测器（10）的电信号输出端连接至数据采集处理器（13）的样品光信号输入端。