[发明专利]AMHS暂存区系统在审
| 申请号： | 201310739705.0 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103693445A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 钱刚 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AMHS暂存区系统，其包括至少一个设于AMHS系统暂存区内的暂存设备，暂存设备具有回转式的回形暂存平台，暂存平台由传动装置驱动而回形转动，暂存平台上具有多个用于放置硅片盒的暂存托架。本发明采用回转式的回形暂存平台，实现暂存区各个位置硅片盒的移动，再通过设置硅片盒抓取装置，可以快捷取放输送车上的硅片盒、实现硅片盒在暂存平台任意位置或不同暂存平台之间的移动，节省输送车存取行驶过程中的时间，从而提高了AMHS系统整体的效率。 | ||
| 搜索关键词： | amhs 暂存 系统 | ||
【主权项】：
一种AMHS暂存区系统，其特征在于，其包括：至少一个设于AMHS系统暂存区内的暂存设备，该暂存设备具有回转式的回形暂存平台，该暂存平台由传动装置驱动而回形转动，该暂存平台上具有多个用于放置硅片盒的暂存托架。
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