[发明专利]一种掺锆的CaCu3Ti4O12薄膜的制备方法

摘要

一种掺锆的CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜的制备方法，属于电介质材料合成技术领域。包括以下步骤：1）按照钙、铜、钛摩尔比为1:3:4的比例，配制含钙铜钛的混合液；2）配制含锆混合液，按照5%～10%摩尔比例加入含钙铜钛的混合液中，得到含钙铜钛锆的前驱液；3）基片放入管式炉中，升温至900℃保持10小时，随炉自然降至室温；然后采用旋涂法将含钙铜钛锆的前驱液涂布在基片上，烘干得到含钙铜钛锆的薄膜样品；4）将步骤3）中得到的薄膜样品放入管式炉中，在900℃、氧气气氛下热处理10小时，随炉降温得到掺锆的CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜。本发明方法能够精确控制薄膜中Zr⁴⁺的掺杂量，同时介电损耗还有大幅度下降。

主权项

一种掺锆的CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜的制备方法，主要包括以下步骤：步骤1：分别将含钙盐、铜盐、钛盐的混合液与水溶性高分子混合，得到含钙络合物混合液、含铜络合物混合液、含钛络合物混合液，然后按照含钙络合物、含铜络合物、含钛络合物的摩尔比为1:3:4的比例，配制含钙铜钛的混合液；步骤2：将含锆盐的混合液与水溶性高分子混合，得到含锆络合物混合液；步骤3：在含钙铜钛的混合液中加入5%～10%摩尔比的含锆络合物混合液，得到含钙铜钛锆的混合液，作为制备掺杂的CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜的前驱液；步骤4：首先将基片放入管式炉中，升温至900℃保持10小时后，随炉自然降温至室温；然后采用旋涂的方法将含钙铜钛锆的前驱液均匀涂布在基片上，并置于干燥箱中烘干，得到掺锆的钙铜钛薄膜样品；步骤5：将步骤4得到的掺锆的钙铜钛薄膜样品放入管式炉中，在900℃、氧气气氛下热处理10小时，然后随炉自然降温得到掺锆的CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜。