[发明专利]一种电涡流位移传感器温度漂移系数的测量装置

摘要

本发明公开了一种电涡流位移传感器温度漂移系数的测量装置，该装置利用超低热膨胀系数的垫片，和普通材料制造的探头固定结构、弹性体，以及目标导体片、支架、底座构成一个非常精确稳定的位移固定系统。不同于以往的测量装置全部采用低温漂的因瓦（Invar）合金等材料制造的温度漂移测量装置，本装置的主体可以是廉价而易于加工制造的常用材料，确定位移的垫片采用低热膨胀系数的材料制造。本发明装置可以用来精确测量高分辨率电涡流位移传感器的温度漂移，还可以安装精密位移制动器来校准灵敏度和线性度等。基于本发明的涡流传感器温度系数测量装置，结构简单，成本低，而且其所固定的位移温漂系数可以低至1nm/℃以下。

主权项

一种电涡流位移传感器温度漂移系数的测量装置，其特征在于：该装置包括：底座（1）、螺旋测微头（2）、锁紧螺钉（3）、弹性体（4）、标准垫片（5）、压紧机构（6）、同轴电缆（7）、电涡流位移传感器探头（8）、目标导体片（9）、固定螺钉（10）和带V型槽和圆柱孔的支架（11）；支架（11）固定在底座（1）上，电涡流位移传感器探头（8）由压紧机构（6）固定在支架（11）的V型槽中，目标导体片（9）和电涡流位移传感器探头（8）之间的距离由标准垫片（5）确定，轴线与电涡流位移传感器探头（8）平行的螺旋测微头（2）通过弹性体（4）将目标导体片（9）压紧到标准垫片（5）上，螺旋测微头（2）安装到支架（11）的圆柱孔中，并通过锁紧螺钉（3）固定，电涡流位移传感器探头（8）的探测信号通过同轴电缆（7）输出。