[发明专利]一种制备CIGS太阳能电池的方法

摘要

本发明涉及CIGS太阳能电池，具体说是一种制备CIGS太阳能电池的方法,其包括在基板上溅镀钼电极层、将具有钼电极层的基板置于真空室内，并正向推动基板，在基板上溅镀CIGS吸收层、反向推动基板，在吸收层上溅镀CdS缓冲层、并在缓冲层上镀上ZnO导电氧化层、在导电氧化层上镀上AZO层、切割封装。本发明通过基板的正向移动，溅镀吸收层；基板反向移动，溅镀缓冲层，不仅提高了生产效率，而且节省了空间，降低了生产成本。本发明有效控制了CIGS吸收层的溅镀，并精确控制了各层的厚度，生产的产品质量好。

主权项

一种制备CIGS太阳能电池的方法,其包括以下步骤：（1）在基板上溅镀钼电极层；（2）将具有钼电极层的基板置于真空室内，并正向推动基板，在基板上溅镀CIGS吸收层；（3）反向推动基板，在吸收层上溅镀CdS缓冲层；（4）将具有缓冲层的基板从真空室内取出，并在缓冲层上镀上ZnO导电氧化层；（5）在导电氧化层上镀上AZO层；（6）切割封装；在所述真空室内位于基板上侧设置有吸收层靶材、缓冲层靶材和与靶材对应的溅射源，溅射源通过分别轰击两靶材，在基板上溅镀吸收层和缓冲层；所述吸收层靶材和缓冲层靶材设置于同一个旋转体上，旋转体内设有溅射源，通过转动旋转体切换吸收层靶材和缓冲层靶材；所述基板采用碱性钠钙玻璃；所述钼电极层表面呈鱼鳞状，厚度为0.5‑‑1.5μm；所述吸收层靶材由CIGS粉末压制而成；所述吸收层的厚度为1.5‑‑2.0μm，缓冲层的厚度为0.05μm；所述导电氧化层采用磁控溅镀法制备，其厚度为0.05μm； AZO层厚度为0.5‑‑1.5μm。