[发明专利]真空滑阀

摘要

本发明涉及一种真空滑阀，其具有设于真空区外的驱动单元，该驱动单元如此构成，使得关断板通过至少一个阀杆沿纵轴线的移动而能从打开位置移动至中间位置，并且通过所述阀杆沿垂直于纵轴线延伸的横轴线的移动从中间位置移动至关闭位置。阀杆与滑动部件刚性固定连接，滑动部件借助导向机构在第一位置和第二位置之间平行于纵轴线地被导向移动并且在第二位置和第三位置之间平行于横轴线地被导向移动。驱动单元具有线性致动器，其包括可平行于纵轴线线性移动的移位部件，该移位部件与滑动部件通过倾斜连接机构机械连接，使得相对于纵闭方向倾斜指向的力被施加至滑动部件以使该滑动部件从第一位置移动到第二位置并从第二位置移入第三位置。

主权项

1.一种真空滑阀，该真空滑阀具有：·阀壁(1)，该阀壁具有通口(2)和围绕该通口(2)的阀座(3)，·关断板(4)，该关断板具有用于基本气密地封闭该通口(2)的关闭侧(5)，·承载该关断板(4)的至少一个阀杆(6)，·与所述至少一个阀杆(6)连接的驱动单元(7)，该驱动单元被如此构造，使得：通过所述至少一个阀杆(6)在基本沿几何纵轴线(8)的纵闭方向(z)上的移动，该关断板(4)能够从该关断板(4)放开该通口(2)的打开位置(O)移动到该关断板(4)覆盖该通口(2)且该关闭侧(5)相对于该阀座(3)间隔对置的中间位置(I)，并且通过所述至少一个阀杆(6)在基本沿垂直于该纵轴线(8)延伸的几何横轴线(9)的横闭方向(y)上的移动，该关断板(4)能够从该中间位置(I)移动到该关断板(4)的关闭侧(5)基本垂直压到阀座(3)上且基本气密地封闭该通口(2)的关闭位置(C)，并且该关断板(4)能够被再次回移，和·具有真空区(11)的阀体(10)，在该真空区内设置有该通口(2)、该阀座(3)和该关断板(4)，所述至少一个阀杆(6)穿过该阀体(10)内的至少一个气密封套(13)能沿该纵轴线(8)和该横轴线(9)运动地从该真空区(11)被引导到设于该真空区(11)外且布置有该驱动单元(7)的驱动区(12)，其特征在于，·所述至少一个阀杆(6)与该驱动单元(7)的设置在该驱动区(12)内的滑动部件(14)刚性固定连接，·利用该驱动单元(7)的在驱动区(12)内的导向机构(22)，该滑动部件(14)能在该关断板(4)处于打开位置(O)的第一位置(PO)和该关断板(4)处于中间位置(I)的第二位置(PI)之间平行于该纵轴线(8)而不可转动地被引导并能沿该纵轴线(8)滑动，其中一旦该导向机构(22)到达所述第二位置(PI)就会阻止该滑动部件(14)在纵闭方向(z)上继续移动，并且该滑动部件(14)能在所述第二位置(PI)和该关断板(4)处于关闭位置(C)的第三位置(PC)之间平行于横轴线(9)不可转动地被引导并能沿该横轴线(9)滑动，·该驱动单元(7)具有线性致动器(15)，该线性致动器具有能平行于该纵轴线(8)直线移动的移位部件(16)，并且·该移位部件(16)通过倾斜连接机构(17a；17b)与该滑动部件(14)机械连接，使得：该移位部件(16)当在纵闭方向(z)上直线移动时向该滑动部件(14)施加相对于纵闭方向(z)倾斜取向的力，该力具有在纵闭方向(z)和横闭方向(y)上的力分量，以使该滑动部件(14)从所述第一位置(PO)移入所述第二位置(PI)和从所述第二位置(PI)移入所述第三位置(PC)，并且在该滑动部件(14)在该第二位置(PI)上在纵闭方向(z)上被锁定的情况下，借助该移位部件(16)在纵闭方向(z)上的直线移动来实现该滑动部件(14)在横闭方向上(y)移动到所述第三位置(PC)中，至少一个支承部件(18)在与纵闭方向(z)相反的方向上从该滑动部件(14)刚性突出，其中该支承部件(18)的指向与该纵闭方向(z)相反的方向上的自由端(19)具有指向该横闭方向(y)的接触面(20)，该滑动部件(14)布置在该关断板(4)和该接触面(20)之间，并且该接触面(20)如此在第二位置(PI)和第三位置(PC)上与刚性固定连接至该阀壁(1)的支座(21)对置，使得该支承部件(18)的自由端(19)在关闭位置(C)上在横闭方向(y)上支承在该支座(21)上。