[发明专利]激光直写玻璃表面制备光学微结构的方法无效
| 申请号： | 201310741935.0 | 申请日： | 2013-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103803485A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 陈继民;黄超;方浩博 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B23K26/14;B23K26/362 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 激光直写玻璃表面制备光学微结构的方法属于激光加工领域，本发明包括以下步骤：将激光聚焦到玻璃表面，开启压缩气罐阀门，通过内径为4mm～7mm的通气管平行于玻璃表面吹辅助气体，辅助气体压强为0.3MPa～0.4MPa，平台运动速度设定为200mm/min～500mm/min，能量密度设定为2.1～7.5J/cm2；开光加工；完成后利用超声波清洗2～5分钟；激光器是低重频0.5KHz～5KHz、长脉宽20～120μs的激光器；激光器是532nm半导体泵浦激光器以及1064nm固体激光器。本发明可以在玻璃表面加工槽状微结构，微结构粗糙度小、无微裂纹。同时本发明使用的激光器成本低、易于维护。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 玻璃 表面 制备 光学 微结构 方法 | ||
【主权项】：
激光直写玻璃表面制备光学微结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：将激光聚焦到玻璃表面，开启压缩气罐阀门，通过内径为4mm～7mm的通气管平行于玻璃表面吹辅助气体，辅助气体压强为0.3MPa～0.4MPa，平台运动速度设定为200mm/min～500mm/min，对于BK7玻璃激光能量密度设定为3.1J/cm2～7.5J/cm2，对于普通玻璃能量密度设定为2.1J/cm2～6.4J/cm2；开光加工；完成后利用超声波清洗2～5分钟；激光器是低重频0.5KHz～5KHz、长脉宽20～120μs的激光器；激光器是532nm半导体泵浦激光器以及1064nm固体激光器。
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