[发明专利]硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 201310742639.2 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103641059A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 吴学忠;董培涛;王浩旭;陈剑;邸荻;王朝光;王俊峰 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00;B82B1/00;B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 赵洪 |
| 地址： | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列及其制备方法。该硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列包括一硅片基底，硅片基底上设有硅柱纳米结构阵列，硅柱纳米结构阵列上设有金属膜纳米结构阵列，金属膜纳米结构阵列单元设于硅柱纳米结构阵列单元上。制备方法包括制备单层有序聚苯乙烯纳米球致密排列、制备单层有序聚苯乙烯纳米颗粒非致密排列、制备金属纳米孔阵列掩模、制备纳米结构阵列模版、制备金属膜纳米结构阵列掩模和硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列等工艺步骤。本发明的纳米结构阵列具有大面积、高密度、形貌可被改变等优点，制备方法成本低廉、效率高、兼容性好，为研究纳米结构阵列的光学性质、磁性能、催化特性等提供了便利。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 金属膜 纳米 结构 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列，其特征在于：所述硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列包括一硅片基底，所述硅片基底上设有硅柱纳米结构阵列，所述硅柱纳米结构阵列上设有金属膜纳米结构阵列，金属膜纳米结构阵列单元设于硅柱纳米结构阵列单元上。
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