[发明专利]一种基于湿法刻蚀机实现色差片处理的方法有效

专利信息
申请号: 201310742708.X 申请日: 2013-12-24
公开(公告)号: CN103715304A 公开(公告)日: 2014-04-09
发明(设计)人: 裴娜;李建朋;常巧艳;许敬亚;吴成新;王月超;李永洋;张继伟 申请(专利权)人: 天津英利新能源有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人: 孙春玲
地址: 301510 天津市滨海新区津汉公*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明创造提供一种基于湿法刻蚀机实现色差片处理的方法,包括湿法刻蚀机去膜处理、PECVD镀膜和印刷烧结步骤。本发明提供的色差片处理流程只需将色差片再次通过湿法刻蚀工艺即可,相对于现有的处理方法较为简单,节省了不必要的再利用处理成本,且此方法无需采购专门的处理设备,通过用于生产的设备即可实现,节省了设备成本。
搜索关键词: 一种 基于 湿法 刻蚀 实现 色差 处理 方法
【主权项】:
一种基于湿法刻蚀机实现色差片处理的方法,包括去膜处理、PECVD镀膜和印刷烧结步骤,其特征在于,所述去膜处理步骤是采用湿法刻蚀机进行膜处理,具体步骤如下:(1)挑选出经过PECVD镀膜后的色差片;(2)将色差片蓝膜向上投入到湿法刻蚀机中进行去膜处理;(3)之后将去膜处理过的色差片依次通过PECVD镀膜和印刷烧结工艺,最终可制成成品电池。
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