[发明专利]工艺流程的变更方法、对变更的工艺流程进行监控的方法在审
| 申请号： | 201310745816.2 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104751261A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郭腾冲;刘萍 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/06 | 分类号： | G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及工艺流程的变更方法、对变更的工艺流程进行监控的方法。所述工艺流程的变更方法包括对晶片组进行预分批，以得到若干晶片批次；根据当前的变更申请选择可适用所述变更申请的晶片批次，所述晶片批次的晶片包括基准晶片；从所选择的可适用所述变更申请的晶片批次中选择除所述基准晶片以外的变更晶片，以获取晶片组分批结果；基于所述晶片组分批结果执行所述工艺流程。本发明能够降低工艺流程的变更重复率和变更成本。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺流程 变更 方法 进行 监控 | ||
【主权项】：
一种工艺流程的变更方法，基于至少一次变更申请，其特征在于，包括：对晶片组进行预分批，以得到若干晶片批次；根据当前的变更申请选择可适用所述变更申请的晶片批次，所述晶片批次的晶片包括基准晶片；从所选择的可适用所述变更申请的晶片批次中选择除所述基准晶片以外的变更晶片，以获取晶片组分批结果；基于所述晶片组分批结果执行所述工艺流程。
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
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