[发明专利]一种多移动平台微纳米尺度移动、样品操作装置

摘要

本发明公开了一种多移动平台微纳米尺度移动、样品操作装置，在Y轴底座上安装Y轴真空压电陶瓷直线马达和Y轴滑块导轨，在Y轴滑块上安装X轴底座，在X轴底座上安装X轴真空压电陶瓷直线马达和X轴滑块导轨，在X轴滑块上安装Z轴底座，在Z轴底座上安装Z轴真空压电陶瓷直线马达和Z轴滑块导轨，Z轴精调支架安装在Z轴滑块上；Z轴压电陶瓷致动器的一端安装在Z轴精调支架，另一端安装X轴精调支架；X轴压电陶瓷致动器的一端安装在X轴精调支架上，另一端安装Y轴精调支架。本发明通过三维直角坐标移动，实现了精调范围内的精确定位，力学、电学、光学、温度、机械探针、探头纳米尺度移动定位以及对微纳米尺度材料、器件的测试实验。

主权项

一种多移动平台微纳米尺度移动、样品操作装置，包括：X轴底座、X轴真空压电陶瓷直线马达、X轴滑块导轨、X轴滑块、X轴压电陶瓷致动器、X轴精调支架、Y轴底座、Y轴真空压电陶瓷直线马达、Y轴滑块导轨、Y轴滑块、Y轴精调支架、Y轴压电陶瓷致动器、Z轴底座、Z轴真空压电陶瓷直线马达、Z轴压电陶瓷致动器、Z轴滑块导轨、Z轴滑块、Z轴精调支架；在Y轴底座上安装Y轴真空压电陶瓷直线马达和Y轴滑块导轨，在Y轴滑块上安装X轴底座，在X轴底座上安装X轴真空压电陶瓷直线马达和X轴滑块导轨，在X轴滑块上安装Z轴底座，在Z轴底座上安装Z轴真空压电陶瓷直线马达和Z轴滑块导轨，Z轴精调支架安装在Z轴滑块上，Z轴压电陶瓷致动器的一端安装在Z轴精调支架，在Z轴压电陶瓷致动器的另一端安装X轴精调支架，X轴压电陶瓷致动器的一端安装在X轴精调支架上，在X轴压电陶瓷致动器的另一端安装Y轴精调支架，Y轴压电陶瓷致动器的一端安装在Y轴精调支架上，在Y轴压电陶瓷致动器的另一端安装夹具座，可更换夹具安装在夹具座上；其特征在于，该多移动平台微纳米尺度移动、样品操作装置还包括：夹具座、可更换夹具、探针座、探针、Z轴应变计、X轴应变计、Y轴应变计；在Z轴压电陶瓷致动器侧面安装两片Z轴应变计，在X轴压电陶瓷致动器侧面安装两片X轴应变计，在Y轴压电陶瓷致动器侧面安装两片Y轴应变计；X轴真空压电陶瓷直线马达、Y轴真空压电陶瓷直线马达、Z轴真空压电陶瓷直线马达实现移动平台的三轴直角坐标移动，最小移动步进小于100纳米；X轴压电陶瓷致动器、Y轴压电陶瓷致动器、Z轴压电陶瓷致动器和X轴应变计、Y轴应变计、Z轴应变计实现三维直角坐标的3微米移动范围的小于1纳米的精确移动、定位；更换的夹具可以采用电测试探针座夹具、力学测试夹具、光纤夹具、温度探测器夹具，所述夹具实现对电学、力学、光学、温度、机械移动探针、探头座的夹持；该多移动平台微纳米尺度移动、样品操作装置可以安装在扫描电子显微镜、原子力显微镜、离子束聚焦显微镜上；Y轴真空压电陶瓷直线马达、X轴真空压电陶瓷直线马达、X轴滑块导轨、X轴滑块Z轴真空压电陶瓷直线马达采用压电陶瓷材质；Z轴亚达陶瓷致动器、X轴亚达陶瓷致动器、Y轴亚达陶瓷致动器采用压电陶瓷材质。