[发明专利]一种射频脉冲系统及其阻抗匹配方法有效
| 申请号： | 201310746422.9 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104752139B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 张超 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种射频脉冲系统及其阻抗匹配方法，其包括脉冲扫频电源、匹配器和反应腔室，脉冲扫频电源的频率能够在预设范围内调节，匹配器电连接于脉冲扫频电源和反应腔室之间，匹配器包括检测单元、控制单元和匹配网络；其中，检测单元在脉冲位于高电平时采集数据并计算反应腔室和匹配器的阻抗之和；控制单元用于调节匹配网络的阻抗，以使匹配器和反应腔室的阻抗之和位于脉冲扫频电源调节其负载阻抗的预设范围之内；脉冲扫频电源通过调节其频率，使匹配器和反应腔室的阻抗之和与脉冲扫频电源的输出阻抗匹配。射频脉冲系统中反应腔室和匹配器的阻抗与脉冲扫频电源的输出阻抗的匹配速度快，精确度更高，且工艺开发时的工作量小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 脉冲 系统 及其 阻抗匹配 方法 | ||
【主权项】：
一种射频脉冲系统，包括脉冲扫频电源、匹配器和反应腔室，所述脉冲扫频电源的频率能够在预设范围内调节，所述匹配器电连接于所述脉冲扫频电源和反应腔室之间，所述匹配器包括检测单元、控制单元和匹配网络；其特征在于，检测单元在脉冲位于高电平时采集数据并计算反应腔室和匹配器的阻抗之和；控制单元用于调节匹配网络的阻抗，以使所述匹配器和反应腔室的阻抗之和位于脉冲扫频电源调节其负载阻抗的预设范围之内；脉冲扫频电源通过调节其频率，使所述匹配器和反应腔室的阻抗之和与脉冲扫频电源的输出阻抗匹配。
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