[发明专利]TFT触摸屏及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201310746532.5 申请日: 2013-12-30
公开(公告)号: CN103777813B 公开(公告)日: 2017-05-24
发明(设计)人: 张迅;张伯伦 申请(专利权)人: 江西沃格光电股份有限公司
主分类号: G06F3/041 分类号: G06F3/041
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 代理人: 吴平
地址: 338004 江西省新余*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明涉及一种TFT触摸屏及其制备方法。该TFT触摸屏包括TFT基板和层叠于所述TFT基板上的感应层。感应层直接层叠于TFT基板上得到上述TFT触摸屏,相比传统的感应层层叠于玻璃面板上再用贴合工艺将TFT基板贴合到玻璃面板上得到的TFT触摸屏,其厚度较小,有利于使用该TFT触摸屏的电子产品往轻薄化的方向发展。
搜索关键词: tft 触摸屏 及其 制备 方法
【主权项】:
一种TFT触摸屏的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:提供TFT基板;及采用磁控溅射在所述TFT基板上制备感应层,得到所述TFT触摸屏;所述感应层的材料为铟锡氧化物;所述TFT基板的表面电阻小于60欧姆/平方;所述采用磁控溅射在所述TFT基板上制备感应层的步骤中,所述TFT基板的温度为100℃~120℃;所述TFT基板包括液晶显示屏和围绕所述液晶显示屏的边框;所述感应层的厚度为90纳米~110纳米。
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