[发明专利]可调节式晶圆固定装置、方法及晶圆清洗平台

摘要

本发明公开了一种可调节式晶圆固定装置、方法及晶圆清洗平台，包括：若干个固定销，用于固定晶圆，所述固定销可开合的安装于晶圆边缘；若干个弹性装置，所述各弹性装置与各固定销对应连接，用于控制各固定销的移动；电机，所述电机输出电流或电压，用于控制弹性装置的移动；还包括若干套力矩控制系统，所述各力矩控制系统的一端与各弹性装置连接，另一端与所述电机连接，通过力矩控制系统发出信号调控所述电机输出的电流或电压，使所述弹性装置产生正向或反向的位移，从而改变所述固定销的位置。本发明解决了现有晶圆固定装置因固定销以固定力矩固定晶圆，导致晶圆局部因力矩过大或过小而产生对晶圆损伤等问题。

主权项

1.一种可调节式晶圆固定装置，包括：若干个固定销，用于固定晶圆，所述固定销可开合的安装于晶圆边缘；若干个弹性装置，所述各弹性装置与各固定销对应连接，用于控制各固定销的移动；电机，所述电机输出电流或电压，用于控制弹性装置的移动；其特征在于，还包括若干套力矩控制系统，所述各力矩控制系统的一端与各弹性装置连接，另一端与所述电机连接，通过力矩控制系统发出信号调控所述电机输出的电流或电压，使所述弹性装置产生正向或反向的位移，从而改变所述固定销的位置，所述力矩控制系统包括依次连接的力矩传感器、联轴器、中央处理模块以及电机控制器，其中：所述力矩传感器为若干个，并与所述固定销一一对应，用于侦测与晶圆接触点的力矩；所述力矩传感器采用应变片电测技术，在弹性轴上组成应变桥，随着扭矩的改变，当弹性轴受扭矩产生微小变形后引起电桥电阻值变化，将电阻的变化转变为信号的变化从而实现扭矩测量；所述联轴器用于连接力矩传感器和中央处理模块；所述中央处理模块用于接收力矩传感器测量的力矩值信号，并发送调整指令给电机控制器；所述电机控制器用于调节电机的输入电压或电流设定值，改变电机的输出扭矩。