[发明专利]蚀刻液循环处理系统及方法

摘要

本发明公开了一种蚀刻液循环处理系统，它包括蚀刻台、蚀刻缸、沉淀池、废液储缸、电解池、再生混合池和主控中心，蚀刻缸通过管道与沉淀池相连，沉淀池通过管道与废液储缸相连，废液储缸通过管道与电解池相连，电解池的出口通过再生混合池与蚀刻缸相连，主控中心的控制端与电解池中的正电极以及负电极相连；它还包括有蚀刻液循环处理的方法，方法主要由废液产生、沉淀、废液调整、电解和再生利用五个步骤组成。本发明采用三级沉淀，多重过滤，固体杂质滤除效果好，成本低廉，智能监控，能实时采集废液的相关数据并分析，节能环保，处理效果好。

主权项

蚀刻液循环处理系统，其特征在于：它包括蚀刻台、蚀刻缸、沉淀池、废液储缸、电解池、再生混合池和主控中心，蚀刻缸的出口通过管道与沉淀池的入口相连；所述沉淀池为斜流式沉淀池，沉淀池内设有三个沉淀分池，第一级沉淀分池的出口与第二级沉淀分池的入口相连，第二级沉淀分池的出口与第三级沉淀分池的入口相连，每个沉淀分池的出口处均设有过滤网；沉淀池的出口通过管道与废液储缸的入口相连，废液储缸的出口通过管道与电解池的入口相连；所述的电解池中间设有将电解池分为阴极区和阳极区的电解隔膜，阴极区内设有负电极，阳极区内设有正电极；电解池内的正电极和负电极还与主控中心相连，电解池的出口通过过滤网和射流器与再生混合池相连，再生混合池的出口通过管道与蚀刻缸的入口相连；再生混合池、废液储缸、沉淀池、电解池和蚀刻缸内均设有液面高度传感器、浓度检测器、温度传感器和PH值检测器，液面高度传感器、浓度检测器、温度传感器和PH值检测器分别通过总线与主控中心相连。